Logosol晶圓處理平臺包括各種產(chǎn)品和服務(wù)，這些產(chǎn)品和服務(wù)源于30多年的半導(dǎo)體自動化經(jīng)驗(yàn)。該技術(shù)涵蓋了從硬件、軟件和機(jī)械設(shè)計(jì)到制造、集成和應(yīng)用工程的各個(gè)方面。該公司與晶圓搬運(yùn)機(jī)器人和預(yù)對準(zhǔn)器相關(guān)的設(shè)計(jì)解決了半導(dǎo)體晶圓廠中需要直接更換傳統(tǒng)產(chǎn)品的應(yīng)用，以及OEM制造商在新開發(fā)的資本設(shè)備中進(jìn)行的自動化材料搬運(yùn)。這些產(chǎn)品線采用Logosol 擁有和控制的技術(shù)，包括運(yùn)動控制電子設(shè)備、晶圓處理固件、軟件工具、實(shí)用程序和機(jī)械設(shè)計(jì)。整個(gè)技術(shù)范圍的可用性實(shí)現(xiàn)了 水平的無縫集成、可制造性、可靠性和成本效益。

機(jī)器人許可

Logosol長期以來一直將其專有的晶圓處理自動化技術(shù)授權(quán)給各種實(shí)體。這些產(chǎn)品包括各種各樣的機(jī)器人尺寸和手臂配置，作為靈活的模塊化自動化平臺的一部分。被許可方受益于該公司在半導(dǎo)體自動化領(lǐng)域的廣泛專業(yè)知識、經(jīng)過驗(yàn)證的產(chǎn)品和解決方案，以及30多年的專業(yè)知識。我們公司提供全面且高度可定制的統(tǒng)一技術(shù)，涵蓋您項(xiàng)目的各個(gè)方面，從機(jī)械設(shè)計(jì)到運(yùn)動控制電子設(shè)備、固件、軟件工具和實(shí)用程序。無論您需要簡單還是復(fù)雜的解決方案，我們都可以定制我們的技術(shù)以滿足您的特定要求。您將 控制您的項(xiàng)目，而無需依賴第三方添加。我們的技術(shù)設(shè)計(jì)靈活、可擴(kuò)展、可靠，確保高性能和高質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)。該公司不僅提供制造許可證和文件，還提供構(gòu)建整個(gè)產(chǎn)品所需的機(jī)器人控制器、電源和特定電子模塊。此外，Logosol提供 的晶圓預(yù)對準(zhǔn)器，可與所有獲得許可的晶圓搬運(yùn)機(jī)器人無縫集成。

機(jī)器人控制器

LRC-x31g3是三軸、四軸和五軸機(jī)器人控制器，帶有集成CPU板和功率放大器，專為需要精確控制旋轉(zhuǎn)或線性無刷電機(jī)的應(yīng)用而設(shè)計(jì)。它們可以用作內(nèi)置或外部控制器。LRC-x31g3通過主機(jī)RS-232或10/100 Base-T以太網(wǎng)接口進(jìn)行控制。使用Logosol分布式控制網(wǎng)絡(luò)擴(kuò)展接口可以無縫連接其他外部設(shè)備。LRC-x31g3配備了各種安全功能，如輸出和電機(jī)短路保護(hù)、欠壓停機(jī)和編碼器存在控制、智能停止功能，以避免機(jī)器外部停止或電源斷開時(shí)機(jī)器人手臂掉落。先進(jìn)的運(yùn)動控制技術(shù)支持高分辨率編碼器，可實(shí)現(xiàn) 的多軸軌跡生成。硬件輔助的位置鎖定提高了用于動態(tài)晶圓對齊的精度。

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運(yùn)動控制框架

MCL5是Logosol專有運(yùn)動控制軟件包的第五代，它提供了一種特定于領(lǐng)域的編程語言和一個(gè)多任務(wù)實(shí)時(shí)解釋器。這是一個(gè)專門用于機(jī)器人控制應(yīng)用程序設(shè)計(jì)的編程框架。MCL5可執(zhí)行文件包括運(yùn)動控制器和I/O模塊的集成、各種機(jī)器人運(yùn)動學(xué)的實(shí)現(xiàn)、對復(fù)雜軌跡運(yùn)動的支持以及系統(tǒng)完整性的監(jiān)控。該可執(zhí)行文件還包括一個(gè)實(shí)時(shí)多任務(wù)腳本解釋器。它允許設(shè)計(jì)特定于應(yīng)用程序的腳本，可用于協(xié)調(diào)機(jī)器人運(yùn)動的順序并實(shí)現(xiàn)自定義主機(jī)通信協(xié)議。腳本語言由一組保留字定義，其表達(dá)式語法類似于C編程語言中的表達(dá)式語法。