LPA26-3

創(chuàng)新、高性能、一體化設(shè)計(jì)消除了

外部控制器和互連電纜，同時(shí)進(jìn)行維護(hù)

兼容性下降

由超低慣性無刷電機(jī)驅(qū)動(dòng)，平穩(wěn)、瞬時(shí)

回應(yīng)

先進(jìn)的掃描電子設(shè)備能夠檢測(cè)透明，

半透明和不透明物體，無機(jī)械

在不同晶圓尺寸之間重新定位

運(yùn)動(dòng)控制軟件具有一套全面的常用功能

使用的命令可實(shí)現(xiàn)與的兼容性和接口

多種半導(dǎo)體平臺(tái)

典型的對(duì)齊周期時(shí)間小于四秒，有助于

實(shí)現(xiàn)最大系統(tǒng)吞吐量

LPA26-3規(guī)格

晶圓直徑

2英寸、3英寸、100毫米、125毫米、150毫米

晶圓不透明度

透明、半透明、不透明

方形基板

適用

晶圓處理

真空吸盤和銷釘

定心精度

預(yù)對(duì)準(zhǔn)器卡盤上的±25um

Angular

準(zhǔn)確度

（3西格瑪）

10000 CPR編碼器

預(yù)對(duì)準(zhǔn)器卡盤上的±0.04°

24000 CPR編碼器

預(yù)對(duì)準(zhǔn)器卡盤上的±0.02°

伺服軸

三

主機(jī)通信

RS232、以太網(wǎng)

最大初始晶圓偏移

10mm（2英寸晶圓為6mm）

車身尺寸（寬x長x高）

173毫米x267毫米x190毫米

封裝兼容性

LPA38-3、LPA58-3

LPA4EH-3、LPA5EH-3、lpar6eh-3、LPA8EH-3

重量

5.00kg

所需設(shè)施

100-240VAC、50/60Hz、48VA或24VDC/2A

真空12英寸汞柱

平坦/凹口兼容性

符合SEMI標(biāo)準(zhǔn)

潔凈

1級(jí)

平均故障間隔時(shí)間

超過70000小時(shí)